純ガス　高純度ガス　超高純度ガス　希ガス　分析表

ガス名 　 不純物（ｐｐｍ） Ｏ2 Ｎ2 Ａｒ ＣＯ ＣＯ2 ＴＨＣ Ｈ2 Ａｉｒ ＮＯX SO2 H2O
規格 純度
Ｏ2 超高純度Ｕ 99.9999% － ＜0.2 ＜0.1 ＜0.1 ＜0.1 ＜0.1 － － － － ＜-80℃
0.54ppm以下
純ガス 　Ｐ 99.9% Ｎ2+Ar+THC+＜500ｐｐｍ ＜-70℃
2.58ppm以下
　

N2

　		 超高純度Ｕ 99.99995% ＜0.1 － － ＜0.1 ＜0.1 ＜0.05 － － － － ＜-80℃
0.54ppm以下
高純度　 H 99.9998% ＜0.1 － － ＜0.2 ＜0.1 ＜0.1 － － － － ＜-80℃
0.54ppm以下
高純度　 P 99.999% ＜0.5 － － ＜1 ＜1 ＜1 － － － － ＜-70℃
2.58ppm以下
Ar 超高純度Ｕ 99.9999% ＜0.1 ＜1 － ＜0.1 ＜0.1 ＜0.1 － － － － ＜-80℃
0.54ppm以下
高純度　 H 99.999% ＜1 ＜3 － ＜0.5 ＜0.5 ＜0.5 － － － － ＜-70℃
2.58ppm以下
He 超高純度Ｕ 99.99998% ＜0.05 ＜0.05 － ＜0.02 ＜0.02 ＜0.01 － － － － ＜-80℃
0.54ppm以下
高純度　 H 99.9995% ＜0.5 ＜0.5 － ＜0.5 ＜0.5 ＜0.5 － － － － ＜-70℃
2.58ppm以下
Air 超高純度Ｕ O2 21％±0.5 － － － ＜0.1 ＜0.1 ＜0.1 － － － － ＜-80℃
0.54ppm以下
純ガス　　Ｐ O2 21％±1 － － － ＜1 ＜2 ＜5 － － － － ＜-65℃
5.34ppm以下
Ne 高純度 99.999% 0.5ppm以下 2ppm以下 1ppm以下 4ppm以下 － － － 0.5ppm以下 0.5ppm以下 0.5ppm以下 1ppm以下
（-77℃）
Kr 高純度 99.999% 0.5ppm以下 2ppm以下 1ppm以下 － 2ppm以下 － 2ppm以下 0.2ppm以下 0.5ppm以下 0.3ppm以下 1ppm以下
（-77℃）
Xe 　高純度 99.999% 0.5ppm以下 2ppm以下 1ppm以下 － 2ppm以下 2ppm以下 － 0.2ppm以下 0.5ppm以下 0.3ppm以下 1ppm以下
（-77℃）